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HORIBA一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀Auto SE概述

一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動(dòng)薄膜測量分析工具。采用工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

技術(shù)參數(shù)：

1. 光譜范圍：450-1000 nm

2. 多種微光斑自動(dòng)選擇

3. 專LI光斑可視技術(shù)，可觀測任何樣品表面

4. 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探測器

HORIBA一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀Auto SE特點(diǎn)

★ 液晶調(diào)制技術(shù)，無機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件，重復(fù)性，信噪比高

★ 專LI技術(shù)成像系技術(shù)，所有樣品均可成像，對(duì)于透明樣品,自動(dòng)去除樣品的背反射信號(hào),使得數(shù)據(jù)分析更簡單.

★ 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測試

★ 全自動(dòng)集成度高，安裝維護(hù)簡便

★ 一鍵式操作軟件，快速簡單

★ 自動(dòng)MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性